[发明专利]泵装置、处理液供给装置以及基板处理装置在审
| 申请号： | 201810857496.2 | 申请日： | 2018-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN109424516A | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 西村淳树;小椋浩之;柏山真人;门间徹;桐田将司;佐川荣寿;吉田省吾 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | F04B39/00 | 分类号： | F04B39/00;F04B39/16;H01L21/67 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇;崔炳哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种泵装置、处理液供给装置以及基板处理装置，在该泵装置的腔室形成有第一开口、第二开口以及第三开口。第二开口位于比第一开口以及第三开口更高的位置，并且位于积存部的最高位置。气泡借助浮力容易地集中于比第三开口更高的第二开口的附近。另外，腔室以越朝向积存部的最高位置变高则腔室内的横截面积变得越小的方式，在腔室的上部内壁具有上倾斜面。上倾斜面不使气泡停留，而沿着上倾斜面向第二开口引导气泡。因此，能够容易地从腔室内排出气泡。 | ||
| 搜索关键词： | 开口 泵装置 腔室 处理液供给装置 基板处理装置 积存部 倾斜面 室内 上部内壁 浮力 排出 停留 | ||
【主权项】：
1.一种泵装置，用于输送处理液，其中，包括：腔室，具有积存部以及与所述积存部相接的可动构件，所述积存部为用于容纳处理液的内部空间，通过使所述可动构件移位，来使所述积存部的容积发生变化，以及，驱动部，使所述可动构件移位；在所述腔室形成有与所述积存部连通的至少三个开口即第一开口、第二开口以及第三开口，所述第二开口位于比所述第一开口以及所述第三开口更高的位置，并且位于所述积存部的最高位置，所述腔室以越朝向所述积存部的最高位置变高则所述积存部的上部的横截面积变得越小的方式，在所述腔室的上部内壁具有倾斜面，所述第二开口将所述处理液中的被沿着所述倾斜面引导的气泡排出。
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