[发明专利]外延腔体的基座调节装置和方法

摘要

本发明公开了一种外延腔体的基座调节装置，包括：基座，基座底部的升降装置；X和Y手臂调整座和升降装置的底部连接；设置在X和Y手臂调整座上的X轴和Y轴旋转螺杆，X轴和Y轴旋转螺杆分别使X和Y手臂调整座沿X轴和Y轴方向移动，并实现对基座的顶部表面的倾角会相应调节；在X轴旋转螺杆上设置有第一深度规，在Y轴旋转螺杆上设置有第二深度规；第一深度规读取并控制X和Y手臂调整座的X方向移动距离，第二深度规读取并控制X和Y手臂调整座的Y方向移动距离。本发明还公开了一种外延腔体的基座调节方法。本发明能在外延腔体外部精确控制并调节基座的倾角，从而能缩短基座倾角的调节时间；能减少开腔次数，提高外延腔体的工艺条件。

主权项

1.一种外延腔体的基座调节装置，其特征在于，包括：设置在外延腔体中的基座，所述基座表面用于放置用于进行外延生长的晶圆；设置在所述基座的底部的升降装置，所述升降装置用于控制所述基座的升降，外延生长时所述外延腔体呈密封结构，所述升降装置的底部延伸到所述外延腔体的密封结构的底部；X和Y手臂调整座，和所述升降装置的底部连接；设置在所述X和Y手臂调整座上的X轴旋转螺杆和Y轴旋转螺杆，所述X轴旋转螺杆推动或拉扯所述X和Y手臂调整座沿X轴方向移动，所述Y轴旋转螺杆推动或拉扯所述X和Y手臂调整座沿Y轴方向移动；所述X和Y手臂调整座在沿X轴或Y轴方向移动时带动所述升降装置做相应的移动，所述基座的顶部表面和所述升降装置的轴线垂直，所述升降装置移动时所述基座的顶部表面的倾角会相应调节；在所述X轴旋转螺杆上设置有第一深度规，在所述Y轴旋转螺杆上设置有第二深度规；通过所述第一深度规读取并控制所述X和Y手臂调整座的X方向移动距离，通过所述第二深度规读取并控制所述X和Y手臂调整座的Y方向移动距离，通过对所述X和Y手臂调整座的X方向移动距离和Y方向移动距离的控制调节所述基座的顶部表面的倾角。