[发明专利]基于锑化物的可见光-中红外探测器及其制备方法

摘要

一种基于锑化物的可见光‑中红外探测器及其制备方法，所述可见光‑中红外探测器的各功能层从衬底沿外延生长方向依次是：衬底、缓冲层、中波通道欧姆接触层、中波通道吸收层、两个隧穿层、可见光通道吸收层、可见光通道欧姆接触层以及盖层。本发明的基于锑化物的可见光‑中红外探测器具有双吸收层结构，具有可见光波段响应高、结构简单、制备工艺简便的优势，满足了可见‑红外宽光谱探测器对可见光高响应的性能需求，为实现高性能的锑化物器件从可见光至中波红外宽光谱探测奠定了基础。

主权项

1.一种基于锑化物的可见光‑中红外探测器，其特征在于，包括：衬底；缓冲层，外延于所述衬底之上；中波通道欧姆接触层，厚度为550nm，外延于所述缓冲层之上；中波通道吸收层，厚度为1500nm，外延于所述中波通道欧姆接触层之上；两个隧穿层，厚度各为30nm，外延于所述中波通道吸收层之上，其中一个为P型隧穿层，另一个为N型隧穿层；可见光通道吸收层，厚度为2000nm，外延于所述隧穿层之上；可见光通道欧姆接触层，厚度为400nm，外延于所述可见光通道吸收层之上；盖层，外延于所述可见光通道欧姆接触层之上。