[发明专利]一种用于调节区熔炉压力的保护装置在审
| 申请号： | 201810713117.2 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN108707962A | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 赵阳;刘琨;郝大维;王克旭;张凤佐;李军;孙晨光;王彦君;孙健 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/00 | 分类号： | C30B13/00;C30B13/28 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 杨慧玲 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于调节区熔炉压力的保护装置，包括置于区熔炉体外壁连通的管路，所述管路的另一端与外部空气连通，所述管路上设有防爆阀，通过所述防爆阀将所述区熔炉体密封，所述防爆阀和所述区熔炉体外壁之间的所述管路上还设有压力传感器。本发明所述的一种用于调节区熔炉压力的保护装置，通过设计的装置，能够对炉体内的气体压强进行监控或者保证炉体密封处的压强不会超过炉体额定压力，实现自动的调节，保证区熔炉体的安全性能。 | ||
| 搜索关键词： | 区熔炉 保护装置 防爆阀 体外壁 连通 压强 压力传感器 安全性能 炉体密封 气体压强 外部空气 炉体 密封 体内 保证 监控 | ||
【主权项】：
1.一种用于调节区熔炉压力的保护装置，其特征在于：包括置于区熔炉体外壁连通的管路，所述管路的另一端与外部空气连通，所述管路上设有防爆阀，通过所述防爆阀将所述区熔炉体密封，所述防爆阀和所述区熔炉体外壁之间的所述管路上还设有压力传感器。
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