[发明专利]高效电池退火工艺

摘要

本发明涉及太阳能电池片生产技术领域，尤其涉及一种高效电池退火工艺，通过对背钝化后的硅片进行升温烘干，通过负压通气，在步骤4)至6)中一直保持负压状态，将水汽彻底去除干净；通过梯度降温的方式，能够将硅片体内的杂质更充分地析出，减少缺陷与复合；本发明和不使用退火工艺对比，硅片背面无水汽残留，开压平均提高了11mV,电流平均提高了42mA，转换效率提高了0.55％。

主权项

1.一种高效电池退火工艺，其特征在于：包括如下步骤：1)进舟：管内温度控制在600℃±10℃，通有5±0.05L/min的氮气，压力值为100±0.2Kpa，时间800s，进舟速度为800±10mm/min；2)抽真空：管内温度控制在600℃±10℃，无气体通入，真空泵工作，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间300s；3)检漏：管内温度控制在600℃±10℃，无气体通入，真空泵停止工作，保证炉管内压力值为100±0.2Kpa，时间60s；4)一次升温：管内设定温度控制在850℃±10℃，升温速率为15±1℃/min，通有2±0.05L/min的氮气，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间1000s；5)恒温：管内设定温度控制在850℃±10℃，并通有2±0.05L/min的氮气，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间600s；6)降温：水冷梯度降温，保证炉管内压力值为10±0.2Kpa，时间1800s；7)充气：管内温度控制在760℃±10℃，降温速率为20±5℃/min，通有3±0.05L/min的氮气，保证炉管内压力值为100±0.2Kpa，时间200s；8)出舟：管内温度控制在800℃±10℃，通有2±0.05L/min的氮气，炉管内压力值为100±0.2Kpa，时间800s，出舟速度为800±10mm/min。