[发明专利]一种巨磁阻抗效应磁敏传感器及制备方法

摘要

本发明一种巨磁阻抗效应磁敏传感器及制备方法，包括磁敏材料、三维微型感应线圈和电路部分；采用玻璃包覆非晶丝作为磁敏材料，通过离子束溅射刻蚀技术在玻璃包覆非晶丝上直接制备三维微型感应线圈，绕有三维微型感应线圈的玻璃包覆非晶丝形成磁敏传感单元，将若干个磁敏传感单元组合并置于传感器基体中，引出导线后一体化集成到电路部分，得到磁敏传感器，通过信号采集处理电路实现对磁场传感器的信号激励及磁场感应信号的采集，来测量空间中的磁场变化。基于离子束溅射刻蚀技术制备出来的磁敏传感器具有高灵敏度、体积小、稳定性高的特点，解决了微型感应线圈三维成形和精确组装的难题，提高器件灵敏度，效率高，性能稳定，良品率高。

主权项

1.一种巨磁阻抗效应磁敏传感器，其特征在于：包括磁敏材料（1）、三维微型感应线圈（2）和电路部分（3），所述电路部分（3）包括驱动电路（301）和信号采集处理电路（302）；所述磁敏材料（1）的表面设有金属导电层（4），金属导电层（4）沿圆周方向被间隔刻蚀且在磁敏材料（1）上形成三维微型感应线圈（2），磁敏材料（1）和三维微型感应线圈（2）构成磁敏传感单元，若干个所述磁敏传感单元组合到传感器基体凹槽中构成磁敏传感器，所述磁敏传感器的两端分别设有探头部分（5），两端的探头部分（5）之间通过导线连接驱动电路（301），所述三维微型感应线圈（2）的两端之间连接信号采集处理电路（302）。