[发明专利]一种浮置复合叉指结构及其制备方法

摘要

本发明涉及一种浮置复合叉指结构及其制备方法，包括基片、第一复合指条组、第二复合指条组、第一汇流电极、第二汇流电极；第一复合指条组包含若干第一复合指条，所述第二复合指条组包含若干第二复合指条；所述各个第一复合指条的金属指外端汇接于第一汇流电极，各个第一复合指条的金属连接指外端汇接于第二汇流电极；所述各个第二复合指条的金属指外端汇接于第二汇流电极，各个第二复合指条的金属连接指外端汇接于第一汇流电极。本发明利用介质延长指替代常规叉指换能器中叉指指条的指端间隙，并使各个复合指条浮置于压电基片表面之上，构成一种复合指条结构，既形成可用于激发或接收声表面波的叉指结构，又便于改变叉指结构中叉指指条的排列周期。

主权项

1.一种浮置复合叉指结构，包括基片（1）、第一复合指条组、第二复合指条组、第一汇流电极（3‑1）、第二汇流电极（3‑2）；所述第一复合指条组包含若干第一复合指条（2‑1），所述第二复合指条组包含若干第二复合指条（2‑2）；所述第一复合指条（2‑1）、第二复合指条（2‑2）均包括金属指（21）、介质延长指（22）和金属连接指（23）三个部分，金属指（21）、金属连接指（23）的内端均附有连接凸块（24），介质延长指（22）的两端附有连接凹槽（25），所述金属指（21）通过其内端的连接凸块（24）与介质延长指（22）一端的连接凹槽（25）相嵌，介质延长指（22）另一端的连接凹槽（25）与金属连接指（23）内端的连接凸块（24）相嵌；所述各个第一复合指条（2‑1）的金属指（21）外端汇接于第一汇流电极（3‑1），各个第一复合指条（2‑1）的金属连接指（23）外端汇接于第二汇流电极（3‑2）；所述各个第二复合指条（2‑2）的金属指（21）外端汇接于第二汇流电极（3‑2），各个第二复合指条（2‑2）的金属连接指（23）外端汇接于第一汇流电极（3‑1）；所述第一复合指条组中的各个第一复合指条（2‑1）与第二复合指条组中的各个第二复合指条（2‑2）依次交错排列，第一复合指条（2‑1）的金属指（21）与第二复合指条（2‑2）的的金属指（21）依次交叉排列，形成叉指状结构；所述各个第一复合指条（2‑1）、第二复合指条（2‑2）均浮置于基片（1）表面，各个第一复合指条（2‑1）、第二复合指条（2‑2）的下表面与基片（1）表面紧密贴合；所述第一汇流电极（3‑1）、第二汇流电极（3‑2）与基片（1）之间均自下而上依次制作有底层黏附层（4）、柔性介质层（5）、中间黏附层（6），所述底层黏附层（4）、柔性介质层（5）、中间黏附层（6）均与对应的第一汇流电极（3‑1）、第二汇流电极（3‑2）同形。