[发明专利]显微二阶非线性极化率光学元件的激光辅助热极化设备及方法

摘要

本发明公开了一种显微二阶非线性极化率光学元件的激光辅助热极化设备及方法，以单面和侧面涂覆了薄银线的ITO玻璃作阳极，硅片作阴极，波长为1064nm的连续激光，对掺杂Sm3+离子的硼磷酸铌玻璃进行显微热极化的制备方法。该电场、热场及激光光场辅助方法可实现多种微米级显微结构的光学元件。可以通过调整激光参数和热极化参数来达到控制样品的周期性与形貌。本发明方法能一次实现具有周期性显微二阶非线性极化率的光学元件，实现图案分辨率可达微米甚至纳米级水平，相对传统材料制备效率可提高数倍至数十倍，微结构分布与尺寸的形貌和原子或分子结构的成份可控，制备效率高。