[发明专利]柔性触觉传感装置、制造方法、系统以及触觉检测方法

摘要

本公开涉及一种柔性触觉传感装置、制造方法、系统以及触觉检测方法。所述柔性触觉传感装置包括：柔性基底，包括柔性底座以及设置在柔性底座上的柔性凸起；触觉传感组件，包括应变片和支撑片，应变片与支撑片成固定角度，其中，支撑片包含于柔性底座中，应变片至少部分地嵌入柔性凸起的侧表面中。根据本公开的各方面的柔性触觉传感装置，将应变片与柔性基底集成为一体，能够在柔性凸起受到应变载荷时，通过应变片的通过应变片的电阻变化来检测柔性凸起受到的应变载荷。

主权项

1.一种柔性触觉传感装置，其特征在于，包括：柔性基底和触觉传感组件，所述柔性基底包括柔性底座以及设置在所述柔性底座上的柔性凸起；所述触觉传感组件包括应变片和支撑片，所述应变片与所述支撑片成固定角度，其中，所述支撑片包含于所述柔性底座中，所述应变片至少部分地嵌入所述柔性凸起的侧表面中；所述触觉传感组件还包括固定片，所述固定片嵌入所述柔性底座中，所述固定片包括第一衬底层和第二衬底层，其中，所述支撑片包括第一衬底层和第二衬底层，所述应变片包括所述第一衬底层、金属层和所述第二衬底层，所述金属层处于所述应变片的第一衬底层和所述第二衬底层中间。