[发明专利]一种TiO2有效

专利信息
申请号: 201810427291.0 申请日: 2018-05-07
公开(公告)号: CN108767113B 公开(公告)日: 2022-04-12
发明(设计)人: 江林;梁志强;邵卫晶;孙迎辉 申请(专利权)人: 苏州大学
主分类号: H01L51/42 分类号: H01L51/42;H01L51/44;H01L51/48;B82Y40/00;B82Y30/00
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 孙仿卫
地址: 215123 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种TiO2纳米柱‑Au纳米粒子复合阵列、制备方法及其应用,它包括形成在基底表面的TiO2纳米柱以及形成在所述TiO2纳米柱自由端的Au纳米粒子;其制备方法,它包括以下步骤:(a)在基底表面形成TiO2纳米薄膜;(b)采用自组装法或蒸镀法在所述TiO2纳米薄膜表面负载Au纳米粒子阵列,随后以CHF3与氩气的混合气体为刻蚀气体进行刻蚀即可。可以获得在可见光区的表面等离子体共振性质,而且可通过二氧化钛纳米柱调控金纳米粒子的空间分布状态,更好的用于增强太阳能电池、光解水、光催化等光电器件的能量转换效率;而制备方法具有重复性好、可大面积制备等优点。
搜索关键词: 一种 tio base sub
【主权项】:
1.一种TiO2纳米柱‑Au纳米粒子复合阵列,其特征在于:它包括形成在基底表面的TiO2纳米柱以及形成在所述TiO2纳米柱自由端的Au纳米粒子。
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