[发明专利]一种金刚线多晶切片制绒添加剂及其制备方法、使用方法在审
| 申请号： | 201810415019.0 | 申请日： | 2018-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN108624962A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 王肖杰;叶俊 | 申请（专利权）人： | 上海汉遥新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 201512 上海市金山区金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金刚线多晶切片制绒添加剂及其制备方法、使用方法。采用丁二酰亚胺、草酸、自制特殊表面活性剂等为原料，不仅通过弱酸作为缓蚀剂，从而降低刻蚀液的电离速率，控制不同晶向硅体腐蚀速率，同时通过自制特殊表面活性剂在制绒过程中吸附在硅片表面，起到腐蚀模板和改善制绒液在硅片表面的铺展性能，来提高制绒均匀性和成核密度。此多晶切片制绒添加剂配方使得制绒面更均匀，反射率控制在21％～24％；光电转换平均效率不低于18.8％。本发明适用于金刚线多晶切片制绒时使用。 | ||
| 搜索关键词： | 切片 多晶 制绒 制绒添加剂 金刚线 表面活性剂 硅片表面 制备 自制 草酸 腐蚀 丁二酰亚胺 光电转换 铺展性能 电离 反射率 缓蚀剂 均匀性 刻蚀液 制绒液 成核 硅体 晶向 弱酸 吸附 配方 | ||
【主权项】：
1.一种金刚线多晶切片的制绒添加剂，其特征在于：该配方重量百分比为，丁二酰亚胺0.5‑2.5％；羟基乙叉二膦酸0.5‑1.5％；草酸0.5～1.5％；苹果酸0.5～1.5％；特殊表面活性剂0.2～0.8％；二丙二醇丙醚0.2～0.8％；水91.4～97.6％。
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