[发明专利]一种半导体晶圆加工用胶带及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201810408723.3 申请日: 2018-05-02
公开(公告)号: CN108587502B 公开(公告)日: 2019-09-03
发明(设计)人: 柯跃虎;宋亦健 申请(专利权)人: 广东硕成科技有限公司
主分类号: C09J7/24 分类号: C09J7/24;C09J7/25;C09J7/30;C09J175/04;H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 512700 广东省韶关市乳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种半导体晶圆加工用胶带,所述半导体晶圆加工用胶带包括基材、粘结剂、粘结膜,所述基材与所述粘结膜通过粘结剂进行连接;所述基材包括聚乙烯、聚丙烯、乙烯‑丙烯共聚物、聚丁烯、乙烯‑醋酸乙烯酯共聚物、乙烯‑丙烯酸酯共聚物、聚对苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚胺甲酸乙酯、苯乙烯‑乙烯‑丁烯共聚物中的一种。
搜索关键词: 乙烯 半导体晶圆 胶带 基材 粘结剂 粘结膜 聚丙烯 聚对苯二甲酸乙二酯 加工 醋酸乙烯酯共聚物 聚甲基丙烯酸甲酯 聚乙烯 丙烯酸酯共聚物 聚胺甲酸乙酯 丙烯共聚物 丁烯共聚物 聚碳酸酯 苯乙烯 聚丁烯 制备
【主权项】:
1.一种半导体晶圆加工用胶带,其特征在于,所述半导体晶圆加工用胶带包括基材、粘结剂、粘结膜,所述基材与所述粘结膜通过粘结剂进行连接;所述基材包括聚乙烯、聚丙烯、乙烯‑丙烯共聚物、聚丁烯、乙烯‑醋酸乙烯酯共聚物、乙烯‑丙烯酸酯共聚物、聚对苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚胺甲酸乙酯、苯乙烯‑乙烯‑丁烯共聚物中的一种;按重量份计算,所述粘结剂的制备原料包括丙烯酸酯聚合物100份、聚合性化合物20‑100份、环氧树脂10‑30份、固化剂1‑10份、引发剂1‑10份;所述丙烯酸酯聚合物的制备原料包括丙烯酸甲酯、丙烯酸、丙烯酸‑2‑乙基己酯、3,4‑二羟基苯乙烯酸;所述环氧树脂为改性双酚A型环氧树脂,所述改性双酚A型环氧树脂为N‑(4‑羟苯基)甘氨酸和丙烯酸高岭土复合物改性双酚A型环氧树脂。
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