[发明专利]一种掩膜板、阵列基板在审

专利信息
申请号: 201810389704.0 申请日: 2018-04-27
公开(公告)号: CN108646515A 公开(公告)日: 2018-10-12
发明(设计)人: 叶成亮 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: G03F1/54 分类号: G03F1/54;G02F1/1343
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种掩膜板及阵列基板,所述掩膜板包括遮光区域,所述遮光区域包括相互交叉的横向遮光条和纵向遮光条;其中,所述横向遮光条与所述纵向遮光条的交汇处设置有辅助遮光块,所述辅助遮光块由第一边、第二边以及第三边围合形成,所述第一边对应所述交汇处的部分所述横向遮光条的边界,所述第二边对应所述交汇处的部分所述纵向遮光条的边界,所述第三边连接所述横向遮光条和所述纵向遮光条;所述辅助遮光块的所述第三边与所述第一边之间的夹角大于或小于45度,或者,所述辅助遮光块的所述第三边与所述第二边之间的夹角大于或小于45度。
搜索关键词: 横向遮光条 遮光块 遮光条 交汇处 掩膜板 遮光区域 阵列基板 围合
【主权项】:
1.一种掩膜板,其特征在于,包括板体,以及阵列分布于所述板体表面的掩膜区域,每一所述掩膜区域包括:透光区域,对应待实施光罩制程的显示器件的刻蚀区域;遮光区域,对应所述待实施光罩制程的显示器件的预设图案区域,所述遮光区域包括相互交叉的横向遮光条和纵向遮光条;其中,所述横向遮光条与所述纵向遮光条的交汇处设置有辅助遮光块,所述辅助遮光块由第一边、第二边以及第三边围合形成,所述第一边对应所述交汇处的部分所述横向遮光条的边界,所述第二边对应所述交汇处的部分所述纵向遮光条的边界,所述第三边连接所述横向遮光条和所述纵向遮光条;所述辅助遮光块的所述第三边与所述第一边形成的第一夹角以及所述第三边与所述第二边形成的第二夹角均为非直角;所述第一夹角和所述第二夹角不等于45度,且不等于135度。
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