[发明专利]原子力显微镜扫描器及原子力显微镜有效
| 申请号： | 201810344331.5 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN108490222B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 王俐;钟兴进;张小新;张维维;林虹云;夏振宇;李佳;敖雪丽;邢冰心;陆金德 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种原子力显微镜扫描器，包括扫描器本体、至少一个弹性件、对应每一个所述弹性件设置的调节件以及旋转压紧件，所述扫描器本体中设有卡槽，所述卡槽中设有扫描探针，所述调节件设于所述扫描器本体上，每一所述弹性件套设于一个所述调节件上，每个所述弹性件包括第一移动端以及与所述第一移动端相对的第二移动端，所述第一移动端与所述调节件连接，所述第二移动端与所述旋转压紧件连接，所述调节件旋转带动所述弹性件压缩并旋转，以使所述第二移动端带动所述旋转压紧件旋转后压紧所述扫描探针。本发明解决了扫描探针在更换过程中容易损失的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 显微镜 扫描器 | ||
【主权项】：
1.一种原子力显微镜扫描器，其特征在于，包括扫描器本体、至少一个弹性件、对应每一个所述弹性件设置的调节件以及旋转压紧件，所述扫描器本体中设有卡槽，所述卡槽中设有扫描探针，所述调节件设于所述扫描器本体上，每一所述弹性件套设于一个所述调节件上，每个所述弹性件包括第一移动端以及与所述第一移动端相对的第二移动端，所述第一移动端与所述调节件连接，所述第二移动端与所述旋转压紧件连接，所述调节件旋转带动所述弹性件压缩并旋转，以使所述第二移动端带动所述旋转压紧件旋转后压紧所述扫描探针。
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