[发明专利]一种磁电复合薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201810308631.8 | 申请日： | 2018-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN108428791A | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 高坤 | 申请（专利权）人： | 徐州通用高新磁电有限公司 |
| 主分类号： | H01L43/12 | 分类号： | H01L43/12 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 曾龙 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁电复合薄膜的制备方法，制造方法包括如下步骤：采用两步阳极氧化法制备具有纳米孔径且有序垂直排列的多孔氧化铝模板；利用氯化钡、硬脂酸、钛酸四丁酯、乙二醇单甲醚化学试剂为原料制备BTO溶胶，步骤四：将钛酸四丁酯溶于乙二醇单甲醚中，加热搅拌；将含钛离子的溶液滴入含钡离子的溶液中，继续80℃加热搅拌；将一定量的硬脂酸加入到上述混合溶液中加热搅拌；本发明原料低廉、无毒，污染小，采用锆钛锡酸铅反铁电陶瓷作为磁电复合薄膜材料的铁电层以取代铁电材料，其易于制备，价格较为低廉，而且能够制备为大尺寸，降低了工艺的复杂性和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 磁电复合 加热搅拌 乙二醇单甲醚 钛酸四丁酯 硬脂酸 薄膜 多孔氧化铝模板 阳极氧化法制 反铁电陶瓷 混合溶液中 薄膜材料 垂直排列 化学试剂 纳米孔径 铁电材料 原料制备 钡离子 氯化钡 溶液滴 铁电层 锡酸铅 钛离子 锆钛 无毒 污染 制造 | ||
【主权项】：
1.一种磁电复合材料的制备方法，其特征在于，制造方法包括如下步骤：步骤一：研磨抛光并清硅基片，备用；所述研磨抛光，可将衬底先在600目的金刚石砂轮盘上进行粗磨10min；步骤二：采用两步阳极氧化法制备具有纳米孔径且有序垂直排列的多孔氧化铝模板；步骤三：利用氯化钡、硬脂酸、钛酸四丁酯、乙二醇单甲醚化学试剂为原料制备BTO溶胶，将氯化钡溶于冰醋酸，80℃加热搅拌；步骤四：将钛酸四丁酯溶于乙二醇单甲醚中，加热搅拌；将含钛离子的溶液滴入含钡离子的溶液中，继续80℃加热搅拌；将一定量的硬脂酸加入到上述混合溶液中加热搅拌；步骤五：然后将温度降低至20℃，用激光轰击锆钛酸铅靶材使得沉积厚度为6nm，在基板上依次沉积镧钙锰氧和锆钛酸铅缓冲层。
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