[发明专利]一种波长调谐哈特曼传感器的波前检测系统有效
| 申请号： | 201810273761.2 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN108692819B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 付跃刚;梁辉;胡源;李岩;王加科;刘智颖;胡赫 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00 |
| 代理公司： | 长春市盈创中成知识产权代理事务所(普通合伙) 22215 | 代理人： | 季建文 |
| 地址： | 130000 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种波长调谐哈特曼传感器的波前检测系统，该控制中心与一波长调谐控制器通信连接，该波长调谐控制器与一波长谐调激光器通信连接，波长谐调激光器前方设置有一扩束镜，扩束镜前方对应处设置有第一准直物镜，扩束镜与第一准直物镜相适配，扩束镜与第一准直物镜之间能形成一待测工位，第一准直物镜前方对应处设置有哈特曼波前传感器，哈特曼波前传感器与控制中心通信连接。需测量不同波长的平面参考波前光斑阵列，再测量对应波长下待测透射式光学系统波前光斑阵列，从而得到透射式光学系统在不同波长下的波前，进而利用公式描述透射波前Zernike系数与波长函数关系，间接反映波前随波长变化规律，实现任意波长波前检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波长 调谐 哈特曼 传感器 检测 系统 | ||
【主权项】：
1.一种波长调谐哈特曼传感器的波前检测系统，其包括控制中心，其特征在于，该控制中心与一波长调谐控制器通信连接，该波长调谐控制器与一波长谐调激光器通信连接，波长谐调激光器前方设置有一扩束镜，扩束镜前方对应处设置有第一准直物镜，扩束镜与第一准直物镜相适配，扩束镜与第一准直物镜之间能形成一待测工位，第一准直物镜前方对应处设置有哈特曼波前传感器，哈特曼波前传感器与控制中心通信连接，波长谐调激光器、扩束镜、第一准直物镜与哈特曼波前传感器位于同一光路上。
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