[发明专利]一种超细纳米晶金刚石精密刀具及其制造方法在审
| 申请号： | 201810272430.7 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN110318032A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 江南;李赫;王博;易剑;曹阳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/01;C23C16/503;B23B27/14 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 马莉华;徐迅 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超细纳米晶金刚石精密刀具及其制造方法。本发明的刀具包括刀柄和金刚石刀，其中金刚石刀由自支撑超细纳米晶金刚石厚膜制成，该厚膜的厚度为100‑3000微米，其中1纳米≤金刚石晶粒尺寸≤20纳米。本发明采用化学气相沉积的方法，在硅基板上生长超细纳米晶金刚石，然后将硅基板与金刚石分离，获得自支撑超细纳米晶金刚石厚膜，经激光切割，焊接至刀体上，再经开刃、粗磨、精磨，获得超细纳米晶金刚石精密刀具。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米晶 超细 金刚石 精密刀具 金刚石厚膜 金刚石刀 硅基板 自支撑 化学气相沉积 金刚石晶粒 激光切割 粗磨 刀柄 刀体 厚膜 精磨 开刃 刀具 焊接 制造 生长 | ||
【主权项】：
1.一种超细纳米晶金刚石刀具，其特征在于，所述刀具包括刀柄和金刚石刀，其中金刚石刀由自支撑超细纳米晶金刚石厚膜制成，其中所述厚膜的厚度为100‑3000微米，其中1纳米≤金刚石晶粒尺寸≤20纳米。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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