[发明专利]光谱共焦位移传感器定位装置及定位方法有效
| 申请号： | 201810263702.7 | 申请日： | 2018-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN108775863B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 谢宏威;尚小强;欧阳光;骆佩文;雷臻宇 | 申请（专利权）人： | 广州大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/06 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 麦小婵;郝传鑫 |
| 地址： | 510000 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光谱共焦位移传感器定位装置及定位方法，所述定位装置包括：载物台、标定板、相机和处理器；所述标定板设置在载物台上，所述相机设置在所述标定板的上方，所述相机与所述处理器电连接，所述相机用于对投射了光斑的标定板进行拍摄，所述处理器用于对拍摄的图像进行处理以获取所述光谱共焦位移传感器的检测点在所述图像上的位置。采用本发明可以对所述光谱共焦位移传感器的检测点进行准确定位，以便将需要检测物体移动到该检测点上进行高度或厚度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱 位移 传感器 定位 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光谱共焦位移传感器定位装置，其特征在于，包括：载物台、标定板、相机和处理器；所述标定板设置在载物台上，所述相机设置在所述标定板的上方，所述相机与所述处理器电连接，所述相机用于对投射了光斑的标定板进行拍摄，所述处理器用于对拍摄的图像进行处理以获取所述光谱共焦位移传感器的检测点在所述图像上的位置。
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