[发明专利]基于静电吸附效应的微加速度计

摘要

一种基于静电吸附效应的微加速度计。它包括：下基底、上基底，所述下、上基底之间设有活动板、支撑梁及其锚点、支撑柱、固定驱动电极、活动驱动电极、固定开关电极、活动开关电极，所述固定驱动电极、固定开关电极位于所述下、上基底的内表面，所述活动驱动电极、活动开关电极位于所述活动板的下、上表面。本发明通过测量开关电极的闭合时间而实现对加速度的测量。本发明以由刚性圆板及其支撑梁构成的组合结构作为活动结构，动、定开关电极间具有较低接触电阻，动、定驱动电极具有较大静电吸附力，并因而防止活动开关电极接触固定开关电极后的反弹以及实现对高加速度的测量。本发明中的支撑梁为非直梁，能有效消除热应力对加速度测量的影响。

主权项

1.一种基于静电吸附效应的微加速度计，包括：下基底（1）、上基底（13），所述下基底（1）和所述上基底（13）之间设有活动板（6）、支撑梁（8）及其锚点（7）、支撑柱（15），其特征在于：所述微加速度计还包括下固定驱动电极（2）和上固定驱动电极（12）、下活动驱动电极（5）和上活动驱动电极（9），所述下、上固定驱动电极（2、12）位于所述下基底（1）和所述上基底（13）的内表面上，下基底（1）和上基底（13）的内表面中心设有凸台，在所述凸台上分别设有下固定开关电极（3）和上固定开关电极（11），所述下、上活动驱动电极（5、9）位于所述活动板（6）的下、上表面，且其下、上表面还设有活动开关电极（4、10）。