[发明专利]一种基板母板及其检测方法有效
申请号: | 201810211701.8 | 申请日: | 2018-03-14 |
公开(公告)号: | CN108362712B | 公开(公告)日: | 2022-09-30 |
发明(设计)人: | 李圭铉;任茂;问武鹏;刘超强;韩金桂 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 贾莹 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请实施例提供一种基板母板及其检测方法,涉及显示技术领域,用于解决在图案缺陷检测过程中,缺陷检出精度较低的问题。该检测方法包括:在基板母板上划分多个检测区;在每个检测区内,对待测面板中的图案进行缺陷检测,包括:对一检测区对应位置处的基板母板进行拍照,获取每个待测面板在该检测区内的检测图像以及检测区内,设置于每个待测面板周边的对位标的实际位置;根据对位标的实际位置获取该检测区内,每个检测图像的各个像素的位置;在同一检测区中,对不同待测面板的检测图像进行比对,获取缺陷的图案。 | ||
搜索关键词: | 一种 母板 及其 检测 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基板母板的检测方法,其特征在于,所述检测方法包括:在所述基板母板上划分多个检测区,一所述检测区与所述基板母板上位于同一列的所述待测面板中的每一个所述待测面板的至少一部分相对应;在每个所述检测区内,对所述待测面板中的图案进行缺陷检测;所述在每个检测区内,对所述待测面板中的图案进行缺陷检测,包括:对一所述检测区对应位置处的基板母板进行拍照,获取每个所述待测面板在该检测区内的检测图像以及所述检测区内,设置于每个所述待测面板周边的对位标的实际位置;所述对位标被配置为对所述待测面板进行定位;根据所述对位标的实际位置获取该检测区内每个所述检测图像的各个像素的位置;在同一所述检测区中,对不同待测面板的检测图像进行比对,获取缺陷的图案。
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