[发明专利]一种干式真空泵的防卡死装置及防卡死方法有效
申请号: | 201810208477.7 | 申请日: | 2018-03-14 |
公开(公告)号: | CN108302040B | 公开(公告)日: | 2023-05-09 |
发明(设计)人: | 李啸;林培英;黄洪福;朱佰喜 | 申请(专利权)人: | 深圳市志橙半导体材料有限公司 |
主分类号: | F04C23/02 | 分类号: | F04C23/02;F04C28/28;F04C18/16;F04C25/02 |
代理公司: | 北京中和立达知识产权代理有限公司 11756 | 代理人: | 祝妍 |
地址: | 518054 广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种干式真空泵的防卡死方法,当干式真空泵停止工作后,利用附加的自动驱动装置,带动干式真空泵中的螺杆按设定的速度继续转动,防止螺杆卡死;本发明还公开一种用于实现所述干式真空泵的防卡死方法的干式真空泵的防卡死装置,包括机架和设在机架上的电机,所述电机的动力输出轴与干式真空泵的螺杆连接。本发明能够让停止作业后的干式真空泵的螺杆继续保持转动,从而保证干式真空泵内的温度不会过低,避免泵内的颗粒凝结,确保干式真空泵的螺杆不会被卡死;另外,还能够减少能耗,节省人力。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空泵 防卡死 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种干式真空泵的防卡死方法,其特征在于,当干式真空泵停止工作后,利用附加的自动驱动装置,带动干式真空泵中的螺杆按设定的速度继续转动,防止螺杆卡死。
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