[发明专利]真空泵在审
申请号: | 201810201907.2 | 申请日: | 2018-03-12 |
公开(公告)号: | CN108691787A | 公开(公告)日: | 2018-10-23 |
发明(设计)人: | 久野智司 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04;F04D29/52;F04D29/64 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 日本京都府京都*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种真空泵,可减少螺杆槽排气部的导入口处的对于气体流动的阻力。本发明的构造是在从涡轮排气部(TP)导入气体的螺杆槽排气部(SP)的导入路径中,通过带六角孔的螺栓(40)将螺杆定子(22)固定于基座(20)的上表面(20c),所述带六角孔的螺栓(40)是头部的高度比符合使用国或国际组织的规定的带六角孔的螺栓更低的螺栓。本发明的真空泵能够减少螺杆槽排气部的导入口处的对于气体流动的阻力。 | ||
搜索关键词: | 螺栓 六角孔 螺杆槽 排气部 真空泵 气体流动 入口处 导入路径 螺杆定子 涡轮排气 高度比 上表面 | ||
【主权项】:
1.一种真空泵,其特征在于包括:基座;转子轴,可旋转地设置于所述基座;转子,包括排列为多段的转子叶片与转子圆筒部,且安装于所述转子轴;固定叶片,配置在所述转子叶片之间,且与所述转子叶片一起构成涡轮排气部;定子,与所述转子圆筒部一起构成螺杆槽排气部;以及带六角孔的螺栓,在从所述涡轮排气部导入气体的所述螺杆槽排气部的导入路径中,将所述定子固定于所述基座的上表面,所述带六角孔的螺栓是头部的高度比符合使用国或国际组织的规定的带六角孔的螺栓更低的螺栓。
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