[发明专利]用于彩色共焦测量的颜色标定方法

摘要

本发明公开的用于彩色共焦测量的颜色标定方法，包括以能够完全反射入射光的物面作为标准反射面，得到彩色共焦测量系统的基本“位移‑波长”曲线；以色卡为被测物，得到各波长的“位移‑波长”曲线；计算各波长的“位移‑波长”曲线相对于基本“位移‑波长”曲线的偏移量Δi的大小和方向，将这些偏移量和中心波长制成颜色偏移表；利用光谱仪获取被测物面上各颜色的中心波长信息，从颜色偏移表找到相对应的偏移量Δi；利用已标定的基本“位移‑波长”曲线，得到对应被测物面上各颜色的“位移‑波长”曲线；根据步骤四得到的“位移‑波长”曲线，计算有颜色的被测物面的形貌特征。本发明能够修正因为被测物颜色给彩色共焦测量系统带来的测量误差。

主权项

1.用于彩色共焦测量的颜色标定方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、以能够完全反射入射光的物面作为标准反射面，得到基本“位移‑波长”曲线，所述“位移‑波长”曲线，是指在由位移作为纵坐标波长作为横坐标的坐标轴中，将标定的点连接而成的曲线，所述标定的点是指当被测物沿光轴方向移动时，利用测量工具记录其位移、同时利用光谱仪记录其波长，进而在由位移作为纵坐标波长作为横坐标的坐标轴中标记的离散点；步骤二、以色卡为被测物，分别得到各波长的“位移‑波长”曲线；步骤三、计算每种波长的“位移‑波长”曲线相对于基本“位移‑波长”曲线的偏移量Δi的大小和方向，并将这些偏移量和对应的色卡各颜色的中心波长制成颜色偏移表；步骤四、实际测量时，利用光谱仪获取被测物面上各颜色的中心波长信息，并从前述颜色偏移表中找到相对应的偏移量Δi；再利用已标定的基本“位移‑波长”曲线，得到对应被测物面上各颜色的“位移‑波长”曲线；步骤五、根据步骤四得到的“位移‑波长”曲线，计算出有颜色的被测物面的形貌特征。