[发明专利]应用节能型热场的单晶炉

摘要

一种应用节能型热场的单晶炉，包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件、坩埚位置标识装置，炉体包括外炉筒和设置在内部的热场，热场包括坩埚、安装座、加热器、热屏组件、保温层，所述热场还包括中排气组件，在下炉筒的侧壁上对称设置第一排气套和第二排气套，中排气组件包括第一排气管、第二排气管、排气环，第一排气管、第二排气管对称设置在加热器的两侧，第一排气管的上端与排气环连接，第二排气管的上端与排气环连接，排气环包括内侧环壁、外侧环壁、环底，本发明通过中排气组件的设置，将与热场气氛直接连接的进气口设置在热场中上部，如此，不仅解决了因排气带走热量的问题，也不存在挥发物堵塞排气管的问题。

主权项

1.一种应用节能型热场的单晶炉，其特征在于：包括二层平台、设置在二层平台上方的炉体、设置在二层平台下方的驱动部件、坩埚位置标识装置，炉体包括外炉筒和设置在内部的热场，外炉筒包括从上向下依次安装连接的炉盖、中炉筒和下炉筒，下炉筒安装在二层平台上，热场包括坩埚、安装座、加热器、热屏组件、保温层，安装座设置下炉筒内，以安装坩埚，坩埚设置在中炉筒内，加热器包围设置在坩埚的周围，以对坩埚内的物料进行加热化料，热屏组件设置在坩埚的上方，在热屏组件中间设置晶棒通道，保温层包括从上向下依次设置的上保温层、中保温层、下保温层，上保温层设置在热屏组件与中炉筒之间，中保温层设置在加热器与中炉筒之间，下保温层设置在安装座与下炉筒之间，驱动部件的上端穿过下炉筒的底部，以与安装座连接，进而驱动坩埚旋转和升降，所述热场还包括中排气组件，在下炉筒的侧壁上对称设置第一排气套和第二排气套，第一排气套的一端及第二排气套的一端外漏在下炉筒外部，用于与外部抽气机构连接，第一排气套的另一端及的另一端穿过下炉筒及保温层，以与中排气组件连通，中排气组件包括第一排气管、第二排气管、排气环，第一排气管、第二排气管对称设置在加热器的两侧，第一排气管、第二排气管靠近保温层设置，第一排气管、第二排气管均为竖直设置的空心直管，第一排气管的下端与第一排气套连通，第一排气管的上端与排气环连接，第二排气管的下端与第二排气套连通，第二排气管的上端与排气环连接，排气环为一圆环，排气环设置在坩埚及加热器的上方的热场内，排气环包括内侧环壁、外侧环壁、环底，内侧环壁、外侧环壁为同心圆，环底连接在内侧环壁、外侧环壁之间，以形成U型环槽，还在内侧环壁、外侧环壁上分别开设进气口和出气口，出气口与第一排气管、第二排气管的上端连通，进气口与内侧环壁内侧的热场连通，以从坩埚口部上方的热场内排出气体，所述坩埚位置标识装置设置在二层平台的下方，坩埚位置标识装置包括下限位机构和上限位机构，设置在二层平台下方的驱动部件包括升降电机、减速器、丝杠、导套，升降电机通过减速器与丝杠连接，以驱动丝杠转动，丝杠与导套螺纹传动连接，导套的上端与安装座连接，以驱动坩埚升降，下限位机构固定设置在驱动部件下方的二层平台的机架上，以对导套的下降的最低位置进行限位，上限位机构设置在驱动部件上方的二层平台的机架上，以对导套的下降的最高位置进行限位。