[发明专利]一种静电吸盘除静电时的氦气压力控制系统及方法

摘要

本发明提供一种静电吸盘除静电时的氦气压力控制系统及方法，包括以下步骤：通过第一阀组控制第一背面冷却气体压力控制器与第一气体管路断开连接，以及控制第一压力控制器连接第一气体管路；通过第二阀组控制第二背面冷却气体压力控制器与第二气体管路断开连接，以及控制第二压力控制器连接第二气体管路；通过第三阀组和第四阀组控制分子泵对两气体管路进行抽气；通过两压力控制器控制两气体管路中的压力；有益效果：通过平衡反应腔体内的压力与气体管路中的压力，避免反应生成物接触静电吸盘的表面，减少了污染源，从而可以减少晶圆缺陷，延长真空腔体维护周期。

主权项

1.一种静电吸附盘除静电时的氦气压力控制系统，其特征在于，包括：反应腔体，为一圆柱形结构；静电吸盘，设置于所述反应腔体底部；第一气体管路，连接所述静电吸盘；第二气体管路，连接所述静电吸盘；第一压力控制单元，通过一第一阀组连接所述第一气体管路，所述第一压力控制单元包括第一背面冷却气体压力控制器和第一压力控制器；第二压力控制单元，通过一第二阀组连接所述第二气体管路，所述第二压力控制单元包括第二背面冷却气体压力控制器和第二压力控制器；冷却气体源，分别连接所述第一压力控制单元和所述第二压力控制单元；分子泵，通过一第三阀组连接所述第一气体管路，以及通过一第四阀组连接所述第二气体管路。