[发明专利]一种Si基钇铁石榴石薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种Si基钇铁石榴石薄膜的制备方法，具体涉及一种基于溶胶凝胶钇铁石榴石薄膜的制备方法。所述方法包括：1)将氧化钇和硝酸铁溶于由硝酸、水、柠檬酸组成的混合溶剂中得到混合溶液；2)将混合溶液搅拌至浓度为0.15～0.2mol/L；3)向基材上滴加钇铁石榴石前躯体形成凝胶膜；4)对凝胶膜进行预退火处理形成籽晶层；6)在籽晶层上再滴加一层前驱体溶液；7)后退火处理。

主权项

1.一种Si基钇铁石榴石薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)清洗基片；2)旋涂前驱体；3)预退火；4)籽晶层上旋涂前躯体；5)后退火处理。