[发明专利]一种无磷聚合物缓蚀剂及其制备方法和应用

摘要

本发明涉及缓蚀剂领域，公开了一种无磷聚合物缓蚀剂，其中，所述无磷聚合物缓蚀剂由下示通式表示：其中，R1为‑H、‑COOH或苯基；R2为‑H、‑CH2COOH或C1‑C5的低碳烷基；R3为‑CO(CH2)kCOOH、‑COCH(OH)COOH、‑COCH(OH)CH2COOH、‑COCH2CH(OH)COOH、‑COCH(OH)CH(OH)COOH、‑COCH＝CHCOOH、‑CO(o‑C6H4)COOH、‑CO(p‑C6H4)COOH、‑COCH2C(OH)(COOH)CH2COOH、‑COC(OH)(CH2COOH)2、‑COCH＝C(COOH)CH2COOH、‑COCH2C(COOH)＝CHCOOH、‑COC(CH2COOH)＝CHCOOH；聚合度x为1‑5000；聚合度y为1‑5000；聚合度z为1‑5000；聚合度m为1‑100；聚合度n为1‑100；聚合度k为0‑8。本发明还公开了所述无磷聚合物缓蚀剂的制备方法及应用。本发明提供的无磷聚合物缓蚀剂具有良好的缓蚀效果。

主权项

1.一种无磷聚合物缓蚀剂，其特征在于，所述无磷聚合物缓蚀剂由下示通式表示：其中，R₁为‑H、‑COOH或苯基；R₂为‑H、‑CH₂COOH或C₁‑C₅的低碳烷基；R₃为‑CO(CH₂)_kCOOH、‑COCH(OH)COOH、‑COCH(OH)CH₂COOH、‑COCH₂CH(OH)COOH、‑COCH(OH)CH(OH)COOH、‑COCH＝CHCOOH、‑CO(o‑C₆H₄)COOH、‑CO(p‑C₆H₄)COOH、‑COCH₂C(OH)(COOH)CH₂COOH、‑COC(OH)(CH₂COOH)₂、‑COCH＝C(COOH)CH₂COOH、‑COCH₂C(COOH)＝CHCOOH、‑COC(CH₂COOH)＝CHCOOH；优选，R₁为‑COOH，R₂为‑H，R₃为‑CO(o‑C₆H₄)COOH；或者R₁为‑H，R₂为C₁‑C₅的低碳烷基，R₃为‑COCH＝CHCOOH；或者R₁为‑COOH，R₂为‑H，R₃为‑COCH＝CHCOOH；聚合度x为1‑5000；聚合度y为1‑5000；聚合度z为1‑5000；聚合度m为1‑100；聚合度n为1‑100；聚合度k为0‑8。