[发明专利]一种无磷聚合物缓蚀剂及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种无磷聚合物缓蚀剂，其特征在于，所述无磷聚合物缓蚀剂由下示通式表示：

其中，R₁为-H、-COOH或苯基；R₂为-H、-CH₂COOH或C₁-C₅的低碳烷基；R₃为-COCH=CHCOOH、-CO(o-C₆H₄)COOH、-CO(p-C₆H₄)COOH、-COCH=C(COOH)CH₂COOH、-COCH₂C(COOH)=CHCOOH、-COC(CH₂COOH)=CHCOOH；

聚合度x为1-200；聚合度y为1-200；聚合度z为1-200；聚合度m为1-55；聚合度n为1-55。

2.根据权利要求1所述的无磷聚合物缓蚀剂，其中，R₁为-COOH，R₂为-H，R₃为-CO(o-C₆H₄)COOH；或者R₁为-H，R₂为C₁-C₅的低碳烷基，R₃为-COCH=CHCOOH；或者R₁为-COOH，R₂为-H，R₃为-COCH=CHCOOH。

3.根据权利要求1所述的无磷聚合物缓蚀剂，其中，聚合度x为10-200；聚合度y为10-200；聚合度z为10-200；聚合度m为5-55；聚合度n为5-55。

4.一种权利要求1所述的无磷聚合物缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

在自由基聚合条件下以及在水的存在下，将不饱和羧酸、烯丙氧基聚乙二醇单酯羧基衍生物、烯丙氧基聚乙二醇磺酸盐与引发剂接触进行反应；

其中，所述不饱和羧酸选自丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸、马来酸酐、衣康酸和肉桂酸中的一种或多种；

所述烯丙氧基聚乙二醇单酯羧基衍生物由烯丙氧基聚乙二醇与二元羧酸和/或二元羧酸酸酐，或者三元羧酸进行酯化反应制得；

所述二元羧酸选自顺丁烯二酸、反丁烯二酸、邻苯二甲酸和对苯二甲酸中的一种或多种；所述二元羧酸酸酐选自丁二酸酐、马来酸酐、邻苯二甲酸酐中的一种或多种；所述三元羧酸为乌头酸。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其中，在水的存在下，将不饱和羧酸、烯丙氧基聚乙二醇单酯羧基衍生物、烯丙氧基聚乙二醇磺酸盐与引发剂接触的方法包括：将不饱和羧酸、烯丙氧基聚乙二醇单酯羧基衍生物、烯丙氧基聚乙二醇磺酸盐和水混合，升温至55-80℃，然后滴加引发剂。

6.根据权利要求4或5所述的制备方法，其中，所述自由基聚合条件包括：反应温度为75-110℃，反应时间为1-10 h。

7.根据权利要求4或5所述的制备方法，其中，不饱和羧酸、烯丙氧基聚乙二醇单酯羧基衍生物、烯丙氧基聚乙二醇磺酸盐的质量比为1 : (0.05-19) : (0.05-19)；水的质量为不饱和羧酸、烯丙氧基聚乙二醇单酯羧基衍生物与烯丙氧基聚乙二醇磺酸盐总质量的0.5-10倍。