[发明专利]柔性显示面板的制作方法及柔性显示面板在审
申请号: | 201810054929.0 | 申请日: | 2018-01-19 |
公开(公告)号: | CN108231672A | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 李源 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | H01L21/77 | 分类号: | H01L21/77;H01L27/12 |
代理公司: | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人: | 孟潭 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明实施例提供的一种柔性显示面板的制作方法包括:提供或制备模组材料;在所述模组材料的表面制备第一有机材料层;在所述第一有机材料层的表面制备金属走线层;以及对所述第一有机材料层和所述金属走线层进行热处理,使得所述金属走线层在所述第一有机材料层表面形成褶皱结构。通过对金属走线层与第一有机材料层采用热处理工艺来形成褶皱结构,利用了金属走线层与第一有机材料层的热膨胀差异,使得金属走线层形成褶皱结构,不仅简化了制备工艺,而且可以提高金属走线层弯曲的均一性,解决了通过刻蚀等工艺制备金属走线层的褶皱结构时的金属残留问题。 | ||
搜索关键词: | 金属走线层 有机材料层 褶皱结构 柔性显示面板 表面制备 模组 有机材料层表面 热处理工艺 热膨胀差异 工艺制备 金属残留 制备工艺 热处理 均一性 刻蚀 制备 制作 | ||
【主权项】:
1.一种柔性显示面板的制作方法,其特征在于,包括:提供或制备模组材料;在所述模组材料的表面制备第一有机材料层;在所述第一有机材料层的表面制备金属走线层;以及对所述第一有机材料层和所述金属走线层进行热处理,使得所述金属走线层在所述第一有机材料层表面形成褶皱结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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