[发明专利]基于模态局部化效应的大量程室温单电子分辨率静电计有效
| 申请号： | 201810024688.5 | 申请日： | 2018-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN108344900B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 常洪龙;康昊;钟纪明;杨晶 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;G01R29/24 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 吕湘连 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于模态局部化效应的大量程室温单电子分辨率静电计，属于微传感器技术领域。它基于多自由度弱耦合谐振器的模态局部化效应，通过检测两侧弱耦合谐振器的振幅比变化来检测输入电荷量。其包括谐振器Ⅰ201、谐振器Ⅲ203，谐振器Ⅰ201通过弹簧Ⅱ204与固定锚点连接；谐振器Ⅲ203通过弹簧Ⅲ207与固定锚点连接。其特征在于，还包括谐振器Ⅱ202，所述谐振器Ⅰ201与谐振器Ⅱ202通过耦合梁Ⅰ205连接，所述谐振器Ⅱ202与谐振器Ⅲ203通过耦合梁Ⅱ206连接，谐振器Ⅱ202通过弹簧Ⅱ208与固定锚点连接。本发明d的静电计不仅能够在室温下进行工作，而且具有数百万个电子的动态测量范围，能够同时实现室温条件下工作，大动态测量范围以及单电子分辨率的测量水平。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 局部 效应 量程 室温 电子 分辨率 静电 | ||
【主权项】：
1.一种基于模态局部化效应的大量程室温单电子分辨率静电计，包括谐振器Ⅰ201、谐振器Ⅲ203，谐振器Ⅰ201通过弹簧Ⅱ204与固定锚点连接；谐振器Ⅲ203通过弹簧Ⅲ207与固定锚点连接。其特征在于，还包括谐振器Ⅱ202，所述谐振器Ⅰ201与谐振器Ⅱ202通过耦合梁Ⅰ205连接，所述谐振器Ⅱ202与谐振器Ⅲ203通过耦合梁Ⅱ206连接，谐振器Ⅱ202通过弹簧Ⅱ208与固定锚点连接。
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