[发明专利]微机械声换能器组件和相应的制造方法有效
| 申请号： | 201810010150.9 | 申请日： | 2018-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN108282730B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | A·曼苏尔;D·潘特尔;F·普尔科;K·德塞尔;T·布克;T·诺尔特曼 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明建立一种微机械声换能器组件和一种相应的制造方法。微机械声换能器组件设有衬底(S)，该衬底具有正面(V)和背面(R)和带有空腔边缘区域(KR)的空腔(K)；在所述正面(V)上弹性悬挂的至少一个压电的振动梁(Z1‑Z6)，该振动梁在所述空腔(K)上延伸；和偏转限界装置(E1‑E3)，所述偏转限界装置设置在所述振动梁(Z1‑Z6)中的每个振动梁的端部边缘区域(ST1‑ST6)上并且如此构型，使得所述偏转限界装置使相应的所述端部边缘区域(ST1‑ST6)与所述空腔边缘区域(KR)或者另一振动梁(Z1‑Z6)的对置的端部边缘区域(ST1‑ST6)处于相互作用中，以便将相应的所述振动梁(Z1‑Z6)的偏转限制在极限偏转内。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 械声换能器 组件 相应 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.微机械声换能器组件，具有：衬底(S)，该衬底具有正面(V)和背面(R)和带有空腔边缘区域(KR)的空腔(K)；在所述正面(V)上弹性悬挂的至少一个压电的振动梁(Z1‑Z6；Z1’‑Z4’；Z1”、Z2”)，所述振动梁在所述空腔(K)上延伸；和偏转限界装置(E1‑E3；E1’‑E4’；E；H1、H2)，所述偏转限界装置设置在所述振动梁(Z1‑Z6；Z1’‑Z4’；Z1”、Z2”)中的每个振动梁的端部边缘区域(ST1‑ST6；ST1’‑ST4’；ST1”、ST2”)上并且如此构型，使得所述偏转限界装置使相应的所述端部边缘区域(ST1‑ST6；ST1’‑ST4’；ST1”、ST2”)与所述空腔边缘区域(KR)或者另一振动梁(Z1‑Z6；Z1’‑Z4’；Z1”、Z2”)的对置的端部边缘区域(ST1‑ST6；ST1’‑ST4”；ST1”、ST2”)处于相互作用中，以便将相应的所述振动梁(Z1‑Z6；Z1’‑Z4’；Z1”、Z2”)的偏转限制在极限偏转内。
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