[发明专利]掩模夹具、电镀装置有效
| 申请号： | 201780090300.5 | 申请日： | 2017-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN110603348B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 小池勇辉;铃木健司;仓持政美;高桥健二 | 申请（专利权）人： | 株式会社昭和 |
| 主分类号： | C25D5/02 | 分类号： | C25D5/02;C25D7/00;C25D17/08 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 褚瑶杨;庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 掩模夹具(100)具备：接触部件(130)，该接触部件(130)形成有使棒状的活塞杆(10)通过的贯通孔(133)，并且在贯通孔(133)的周围具有，该变形部(134)通过活塞杆(10)的外螺纹(10e)插入到贯通孔(133)中而发生弹性变形并与活塞杆(10)的外周端面接触；以及支撑单元(170)，其沿着与活塞杆(10)的轴心方向交叉的方向可移动地支撑接触部件(130)。 | ||
| 搜索关键词： | 夹具 电镀 装置 | ||
【主权项】：
1.一种掩模夹具，其特征在于，该掩模夹具具备：/n接触部件，该接触部件形成有使棒状的被镀覆部件通过的贯通孔，并且在所述贯通孔的周围具有变形部，该变形部通过所述被镀覆部件的特定部位插入到所述贯通孔中而发生弹性变形并与所述被镀覆部件的外周端面接触，以及/n支撑部，其支撑所述接触部件，所述接触部件可沿着与所述被镀覆部件的轴心方向交叉的方向移动。/n
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