[发明专利]X射线反射率测定装置

摘要

本发明的X射线反射率测定装置包括：照射角度可变机构(10)，其使对试样表面(8a)的聚光X射线束(6)的照射角度变化；被固定的位置灵敏型检测器(14)；反射强度计算机构(15)，其与照射角度可变机构(10)的聚光X射线束(6)的照射角度的变化同步，仅仅针对位置灵敏型检测器(14)中的位于反射X射线束(12)的发散角度幅度内的检测元件(11)，就构成反射X射线束(12)的反射X射线(13)的每个反射角度，累加计算对应的检测元件(11)的检测强度。

主权项

1.一种X射线反射率测定装置，该X射线反射率测定装置包括：聚光X射线束形成机构，该聚光X射线束形成机构具有：X射线源，该X射线源辐射X射线；聚光元件，该聚光元件聚光来自上述X射线源的X射线；狭缝，该狭缝限制通过上述聚光元件而聚光的X射线的聚光角度幅度，形成聚光X射线束；试样高度调节机构，该试样高度调节机构包括装载试样的试样台，在高度方向使该试样台移动，调节试样表面的高度；照射角度可变机构，该照射角度可变机构使对试样表面的聚光X射线束的照射角度变化；位置灵敏型检测器，该位置灵敏型检测器包括在高度方向设置的多个检测元件，针对聚光X射线束通过试样而反射的反射X射线束，通过对应的上述检测元件，检测构成反射X射线束的不同的反射角度的反射X射线的各强度；反射强度计算机构，该反射强度计算机构与上述照射角度可变机构的聚光X射线束的照射角度的变化同步，仅仅针对上述位置灵敏型检测器中的位于反射X射线束的发散角度幅度内的检测元件，就构成反射X射线束的反射X射线的每个反射角度，累加计算对应的上述检测元件的检测强度。