[发明专利]运输辊有效
申请号: | 201780070258.0 | 申请日: | 2017-09-21 |
公开(公告)号: | CN109937472B | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 费迪南多·温诺;斯特凡·格鲁斯纳 | 申请(专利权)人: | 德国艾托特克公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 林斯凯 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种新的运输辊类型,其提供改性表面以为新衬底提供经改进运输性质。此外,本发明涉及有益地利用此类运输辊(特别是用于提供保持辊对)的水平运输系统。另外,本发明涉及含有此运输辊或水平运输系统的处理装置。此外,本发明涉及一种用于处理衬底的方法及此运输辊的使用。 | ||
搜索关键词: | 运输 | ||
【主权项】:
1.一种用于运输衬底(3)的水平运输系统(2)的运输辊(1、1'),其中所述运输辊(1、1')基本上具有实心本体辊的形式,其特征在于:所述运输辊(1、1')进一步含有改性表面(4),所述改性表面(4)提供所述衬底(3)的非均匀接触,其中所述改性表面(4)含有用于接触所述衬底(3)的接触区域(5、5'、5”、5”')及不接触所述衬底的所述接触区域(5、5'、5”、5”')之间的凹部(6、6'、6”、6”'),其中所述改性表面(4)经调适以在使用所述运输辊(1、1')运输时在所述运输辊(1、1')的两个侧上提供液体或气体交换;其中所述改性表面(4)由如聚合物或金属的基本上均质材料组成,其中所述均质材料不由纤维材料或发泡体形成。
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