[发明专利]用于流量测量的可变限制在审
| 申请号： | 201780057703.X | 申请日： | 2017-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN109891353A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | B·索曼尼;E·J·雷德曼 | 申请（专利权）人： | 流体设备系统有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/00 | 分类号： | G05D7/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 柴双;石海霞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种系统包括流量限制器，该流量限制器连接到流体流动路径并位于腔室的上游。流量限制器包括由流量限制器的第一元件和第二元件之间的流动路径区域限定的可调流量限制孔、以及被配置为调节第一元件、第二元件或两者的相对位置以改变穿过孔的流体流动路径的驱动单元。第一元件或第二元件在孔流动路径中提供弯曲边界，以在流动路径内形成会聚区域、最靠近区域和发散区域。可以使用流量限制器上游的参考容积来确定流速。 | ||
| 搜索关键词： | 流量限制器 第二元件 第一元件 流动路径 流体流动路径 发散区域 可变限制 可调流量 流量测量 区域限定 驱动单元 弯曲边界 上游 限制孔 腔室 会聚 穿过 参考 配置 | ||
【主权项】：
1.一种系统，包括：流体流动路径，连接到反应腔室；至少一个传感器，连接到流体流动路径，并且被配置为基于通过所述至少一个传感器的流体流量产生信号；流量限制器，连接到流体流动路径并位于腔室的上游，流量限制器包括：可调流量限制孔，由流量限制器的第一元件和第二元件之间的流动路径区域限定，以及驱动单元，被配置为调节第一元件、第二元件、或两者的相对位置，以改变穿过孔的流体流动路径；以及控制器，被配置为从所述至少一个传感器接收信号并基于信号控制流出流量限制器的流量，其中，第一元件或第二元件可以在孔流动路径中提供弯曲边界，以在流动路径内形成会聚区域、最靠近区域和发散区域。
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- 集成型气体供给装置-201380057366.6
- 小艾睦典;广濑隆;山路道雄;松田隆博 - 株式会社富士金
- 2013-10-18 - 2015-06-24 - G05D7/00
- 本发明实现半导体制造装置用集成型气体供给装置的气体供给线路的增加、装置的小型化、装置内部的气体流路内容积的减小，提高装置的气体置换性，并且实现设置空间的削减、各仪器类的维护管理的容易化。通过在以平面观察隔开间隔地并列设置的气体入口侧块（12）及气体出口侧块（13）上，将设置有多个流量控制部的两台流量控制器（3）对置状地组合固定，并且在各流量控制器（3）中设置入口开闭阀（1）及出口开闭阀（5），来形成包括至少四个气体供给线路（S）的气体供给单元（U），将该气体供给单元（U）堆叠多台并固定。
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