[发明专利]含不饱和基团的碱溶性树脂和碱溶型放射线敏感性树脂组合物在审

专利信息
申请号: 201780056482.4 申请日: 2017-10-18
公开(公告)号: CN109715698A 公开(公告)日: 2019-05-03
发明(设计)人: 藤田贵史;六人部壮 申请(专利权)人: 长濑化成株式会社
主分类号: C08G63/553 分类号: C08G63/553;G02B5/20;G03F7/027
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 崔立宇;庞东成
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种酸值低、碱溶性、显影密合性、分辨率和电学特性优异的含不饱和基团的碱溶性树脂。提供一种含不饱和基团的碱溶性树脂,其特征在于,其为(a)具有芴骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯、(b)不具有芴骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯以及(c)四羧酸或其酸二酐的反应物。
搜索关键词: 不饱和基团 碱溶性树脂 丙烯酸酯 芴骨架 环氧 放射线敏感性树脂组合物 电学特性 反应物 碱溶性 密合性 四羧酸 酸二酐 分辨率 碱溶 显影
【主权项】:
1.一种含不饱和基团的碱溶性树脂,其特征在于,其为(a)具有芴骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯、(b)不具有芴骨架的环氧(甲基)丙烯酸酯、以及(c)四羧酸或其酸二酐的反应物。
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