[发明专利]真空计有效
| 申请号： | 201780050129.5 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN109618558B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 北條久男 | 申请（专利权）人： | Q`z株式会社 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种真空计，其能够抑制外部温度变化的影响从而准确地测定真空度。真空计具有：导入管(320)；隔膜(40)，其因被导入管所导入的被测定气体而移位；压电元件(50)，该压电元件(50)的一端与隔膜连接并与隔膜一起移位；内部结构体(310)，其固定有隔膜的周缘与压电元件的另一端，并与导入管连结；以及气密容器(300)，其气密性地包围导入管和内部结构体。气密容器内被内部结构体、导入管和隔膜气密地划分为在隔膜的一面侧处导入被测定气体的压力导入室(130)、和隔膜的另一面侧的基准压力室(120)，基准压力室被设定为比被测定气体的压力下限低的高真空。 | ||
| 搜索关键词： | 真空计 | ||
【主权项】：
暂无信息
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