[发明专利]真空计

说明书

提供一种真空计，其能够抑制外部温度变化的影响从而准确地测定真空度。真空计具有：导入管(320)；隔膜(40)，其因被导入管所导入的被测定气体而移位；压电元件(50)，该压电元件(50)的一端与隔膜连接并与隔膜一起移位；内部结构体(310)，其固定有隔膜的周缘与压电元件的另一端，并与导入管连结；以及气密容器(300)，其气密性地包围导入管和内部结构体。气密容器内被内部结构体、导入管和隔膜气密地划分为在隔膜的一面侧处导入被测定气体的压力导入室(130)、和隔膜的另一面侧的基准压力室(120)，基准压力室被设定为比被测定气体的压力下限低的高真空。

技术领域

本发明涉及真空计等。

背景技术

已知有使用压电元件的物理量检测器。专利文献1公开了如下的物理量检测器：压电元件，其在两端设置有基部；以及气密容器(外壳)，其收纳该压电元件。外壳具有：环部，其对隔膜进行固定；突出部，其设置成从环部起突出；2个柱部件，它们从突出部起在垂直方向上延伸；以及梁部件，其将2个柱部件的自由端部连接。压电元件的一个基部被固定于隔膜，压电元件的另一个基部被固定于梁部件。当外压作用于隔膜时，压电元件对应于外压而被压缩或者伸长。由此，压电元件的谐振频率按照隔膜所受到的压力而发生变化，从而能够根据谐振频率高精度地检测压力。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-104753号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在如上所述的结构的物理量检测器中，存在如下课题：特别是在作用于隔膜的正或负的压力较大的情况或外部温度变化较大的情况下，测定精度恶化。

本发明的几个方式的目的在于提供一种能够抑制外部温度变化的影响从而准确地测定真空度的真空计。

本发明的几个方式的目的在于提供一种能够通过允许压电元件的一端的移位并抑制另一端的移位而准确地测定真空度的真空计。

用于解决课题的手段

(1)本发明的一个方式涉及一种真空计，其具有：

导入管；

隔膜，其因被所述导入管所导入的被测定气体而移位；

压电元件，该压电元件的一端与所述隔膜连接，并且与所述隔膜一起进行移位；

内部结构体，其固定有所述隔膜的周缘与所述压电元件的另一端，并与所述导入管连结；以及

气密容器，其气密性地包围所述导入管和所述内部结构体，

所述气密容器内被所述内部结构体、所述导入管和所述隔膜气密性地划分为在所述隔膜的一面侧导入所述被测定气体的压力导入室、和所述隔膜的另一面侧的基准压力室，

所述基准压力室被设定为比所述被测定气体的压力下限低的高真空。

真空计的误差的最大要因在于虽然压力不变化，但会由于周围温度的变化而使隔膜、压电元件或支承压电元件的内部结构体发生变形，产生由于压电元件的移位引起的误差。为了避免该误差，除了覆盖与被测定气体接触的隔膜的一面侧以外，还用基准压力室覆盖了隔膜的另一面侧及压电元件、和内部结构体，该内部结构体支承隔膜及压电元件。基准压力室原本用于设定相对于被导入到压力导入室中的被测定气体的压力的基准压力。在本发明的一个方式中，通过将基准压力室的高真空兼用作真空隔热部从而利用真空隔热部抑制对流传热，减少了因真空计的误差的最大要因即温度变化引起的影响。