[发明专利]具有辐射源的检查系统和方法有效
申请号: | 201780046875.7 | 申请日: | 2017-07-27 |
公开(公告)号: | CN110121666B | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | G·杰古 | 申请(专利权)人: | 德国史密斯海曼简化股份公司 |
主分类号: | G01V5/00 | 分类号: | G01V5/00;H01J35/00;H05G2/00 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 肖冰滨;王晓晓 |
地址: | 法国塞纳*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在示例中,公开了一种检查系统,包括:次级辐射源,其被配置为响应于被来自初级电磁辐射发生器的初级电磁辐射照射而产生用于检查负载的次级电磁辐射;和一个或多个检测器,其被配置为在与次级检查束相互作用之后检测来自负载的辐射。 | ||
搜索关键词: | 具有 辐射源 检查 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种检查系统,包括:至少一个次级辐射源,所述次级辐射源被配置为发射次级电磁辐射,以用于借助传输所述次级检查辐射通过负载来检查所述负载,所述次级辐射源被配置为响应于被来自至少一个初级电磁辐射生成器的初级电磁辐射照射而产生所述次级检查辐射;以及一个或多个检测器,所述检测器被配置为在与所述次级检查束相互作用之后检测来自所述负载的辐射。
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