[发明专利]碳化钽涂层碳材料有效
申请号: | 201780023205.3 | 申请日: | 2017-05-24 |
公开(公告)号: | CN109153571B | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 曹东完 | 申请(专利权)人: | 韩国东海碳素株式会社 |
主分类号: | C01B32/10 | 分类号: | C01B32/10;C01B32/914;C01G35/00;H01L21/56;H01L21/683 |
代理公司: | 北京尚伦律师事务所 11477 | 代理人: | 张俊国 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及碳化钽涂层碳材料,更具体地,涉及碳化钽涂层碳材料,其包括碳基体及碳化钽涂层面,形成在所述碳基体上,且将所述碳化钽涂层面的(111)面、(200)面、(220)面及(311)面的X‑线衍射峰作为主峰,所述峰中的所述(111)面的峰具有最大衍射强度。本发明可提供具有优秀的化学及物理耐性,且寿命被延长的碳化钽涂层碳材料。 | ||
搜索关键词: | 碳化 涂层 材料 | ||
【主权项】:
1.一种碳化钽涂层碳材料,其包括:碳基体;及碳化钽涂层面,形成在所述碳基体上,且将所述碳化钽涂层面的(111)面、(200)面、(220)面及(311)面的X‑线衍射峰作为主峰,所述峰中的所述(111)面的峰具有最大衍射强度。
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