[发明专利]用于使用局部自适应阈值识别制造组件缺陷的系统、方法及计算机程序产品有效
| 申请号： | 201780014880.X | 申请日： | 2017-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN109074644B | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 黃彤;姜旭光;永·张 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于使用局部自适应阈值识别制造组件缺陷的系统、方法及计算机程序产品。在使用时，针对制造装置的目标及参考组件接收图像。另外，从所述目标及参考组件图像产生差异图像，且从所述差异图像识别所述目标组件的缺陷候选。此外，针对所述差异图像中的位置处的所述经识别缺陷候选中的每一者：基于所述缺陷候选的所述位置周围的局部区域确定阈值，且比较所述缺陷候选的所述位置处的信号与所述阈值以确定所述缺陷候选是否为缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 差异图像 计算机程序产品 参考组件 制造组件 阈值识别 位置处 自适应 接收图像 局部区域 目标组件 图像产生 制造装置 | ||
【主权项】：
1.一种非暂时性计算机可读媒体，其存储具有可计算机处理器执行以执行方法的代码的计算机程序，所述方法包括：/n接收制造装置的目标组件的第一图像，针对所述目标组件接收所述制造装置的第一参考组件的第二图像，且针对所述目标组件接收所述制造装置的第二参考组件的第三图像，其中所述制造装置是具有重复裸片的晶片，所述目标组件是所述裸片中的第一者的部分，且所述第一及第二参考组件分别为所述裸片中的第二者及第三者的对应部分；/n基于所述第一图像与所述第二图像的第一比较产生第一差异图像，所述第一差异图像指示所述第一图像与所述第二图像之间的差异；/n基于所述第一图像与所述第三图像的第二比较产生第二差异图像，所述第二差异图像指示所述第一图像与所述第三图像之间的差异；/n基于所述第一差异图像及所述第二差异图像产生第三差异图像，所述第三差异图像指示所述目标组件的缺陷信号；/n从所述第三差异图像识别缺陷候选；/n针对所述第三差异图像中的位置处的所述经识别缺陷候选中的每一者：/n基于所述缺陷候选的所述位置周围的局部区域确定阈值，/n比较所述缺陷候选的所述位置处的信号与所述阈值以确定所述缺陷候选是否为缺陷。/n
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