[实用新型]一种多晶硅电池片的低压扩散设备

摘要

本实用新型涉及太阳能光伏电池制造领域，具体涉及一种多晶硅电池片的低压扩散设备，包括：炉体、石英舟、扩散气混合箱、抽气机、选择阀、空气排放管和废气收集箱；所述炉体包括，圆筒形的立式炉身、所述立式炉身顶部铰接的炉盖以及所述立式炉身中轴线位置处的排气管，所述立式炉身包括，内部的炉腔和外侧的加热炉壁；所述石英舟设置在所述炉腔内，包括，透气外壳和硅片搁架，所述透气外壳上下顶面处设置有排气穿孔，所述排气管穿过所述透气外壳的中心，所述透气外壳与所述炉腔内壁设置有间隔层，所述间隔层与所述扩散气混合箱通过进气管相连；所述排气管与设置在所述炉体底部的抽气机相连。

主权项

1.一种多晶硅电池片的低压扩散设备，其特征在于，包括：炉体（1）、石英舟（2）、扩散气混合箱（3）、抽气机（4）、选择阀（5）、空气排放管（6）和废气收集箱（7）；所述炉体（1）包括，圆筒形的立式炉身（11）、所述立式炉身（11）顶部铰接的炉盖（12）以及所述立式炉身（11）中轴线位置处的排气管（13），所述立式炉身（11）包括，内部的炉腔（111）和外侧的加热炉壁（112）；所述石英舟（2）设置在所述炉腔（111）内，包括，透气外壳（21）和硅片搁架（22），所述透气外壳（21）上下顶面处设置有排气穿孔，所述排气管（13）穿过所述透气外壳（21）的中心，所述透气外壳（21）与所述炉腔（111）内壁设置有间隔层（1111），所述间隔层（1111）与所述扩散气混合箱（3）通过进气管（31）相连；所述排气管（13）与设置在所述炉体（1）底部的抽气机（4）相连，所述抽气机（4）与所述选择阀（5）相连，所述空气排放管（6）和废气收集箱（7）并联在所述选择阀（5）的后端。