[实用新型]一种真空等离子机的快速插拔电极有效
| 申请号： | 201721804759.0 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN207624652U | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 张斌 | 申请（专利权）人： | 昆山国华电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种真空等离子机的快速插拔电极，包括电极板本体，所述电极板本体两端设有绝缘导块，所述绝缘导块之间电极板侧边设有至少一个电机快插公头，所述快插公头插于设备的母头上；所述快插公头包括C形卡块，所述C形卡块上连接有电极头，所述电极头周围设有环形磁铁；所述电极板本体表面设有两条定位槽，所述定位槽内设有磁铁条，所述C形卡块上设有定位钉，本电极板能够在真空等离子腔体内增加数量，以适应不同高度的产品，并且能够快速插拔，并且可根据不同设备的母头插口的位置调整公头位置，适用性高，解决生产维护过程中的不方便问题，增加设备的弹性，并且电极在腔体内滑动时运行顺畅，不会卡死。 | ||
| 搜索关键词： | 公头 电极板本体 真空等离子 快速插拔 电极 电极板 电极头 定位槽 导块 绝缘 体内 本实用新型 插口 环形磁铁 位置调整 增加设备 磁铁条 定位钉 滑动 侧边 卡死 母头 电机 维护 生产 | ||
【主权项】：
1.一种真空等离子机的快速插拔电极，其特征在于，包括电极板本体，所述电极板本体两端设有绝缘导块，所述绝缘导块之间电极板侧边设有至少一个电机快插公头，所述快插公头插于设备的母头上；所述快插公头包括C形卡块，所述C形卡块上连接有电极头，所述电极头周围设有环形磁铁；所述电极板本体表面设有两条定位槽，所述定位槽内设有磁铁条，所述C形卡块上设有定位钉，所述定位钉穿过所述C形卡块并插于所述定位槽内。
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