[实用新型]一种靶材检测装置有效
| 申请号： | 201721751560.6 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN207798029U | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 黄勇彪;林文宝;刘海燕;李宝英 | 申请（专利权）人： | 深圳市众诚达应用材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B17/08 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人： | 林俭良;杨波 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种靶材检测装置，该靶材检测装置包括基台、安装在所述基台上的检测靶材平整度的检测装置、安装在所述基台上供所述检测装置沿Y轴方向和X轴方向做往复运动的导向组件、安装在所述基台上带动所述检测装置在所述导向组件上沿Y轴方向做往复运动的传动装置、与所述传动装置连接驱动所述传动装置升降的驱动机构以及安装在所述基台上且与所述检测装置连接带动所述检测装置在所述导向组件上沿X轴方向做反复运动的动力元件。该靶材检测装置能够对靶材表面的各个区域进行检测，实现自动化检测，进而提高靶材通过溅射所镀的膜的均匀性，降低人力成本。 | ||
| 搜索关键词： | 检测装置 靶材检测 传动装置 导向组件 靶材 检测 本实用新型 动力元件 反复运动 驱动机构 人力成本 均匀性 平整度 对靶 基台 溅射 升降 自动化 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种靶材检测装置，其特征在于，包括基台(11)、安装在所述基台(11)上的检测靶材平整度的检测装置(12)、安装在所述基台(11)上供所述检测装置(12)沿Y轴方向和X轴方向做往复运动的导向组件(13)、安装在所述基台(11)上带动所述检测装置(12)在所述导向组件(13)上沿Y轴方向做往复运动的传动装置(14)、与所述传动装置(14)连接驱动所述传动装置升降的驱动机构(15)以及安装在所述基台(11)上且与所述检测装置(12)连接带动所述检测装置(12)在所述导向组件(13)上沿X轴方向做反复运动的动力元件(16)。
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