[实用新型]多晶硅锭铸锭炉内腔结构有效
| 申请号： | 201721640547.3 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN207498519U | 公开（公告）日： | 2018-06-15 |
| 发明（设计）人： | 房灵辉;王岩 | 申请（专利权）人： | 河南省博宇新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 郑州大通专利商标代理有限公司 41111 | 代理人： | 余炎锋 |
| 地址： | 451200 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型属于多晶硅生产技术领域。一种多晶硅锭铸锭炉内腔结构，包括壳体；保温腔室，所述保温腔室包括侧保温板和顶保温板，所述侧保温板和顶保温板上均独立设置有升降组件，且侧保温板与顶保温板之间相对密封滑动配合；侧加热器、顶加热器、以及坩埚，所述坩埚包括坩埚本体、开设在坩埚本体侧壁上的楔形槽、和匹配设置在楔形槽内的碳纤维保温条；所述侧加热器和顶加热器外侧均设置有热辐射反射板，在侧保温板内壁和顶保温板的外侧边均设置有耐磨层。本实用新型能够有效的防止产生的石墨粉对热场造成的影响，同时能够有效的增加热利用率，降低热量的散失，并促使多晶硅的长晶质量得到提升。 1 | ||
| 搜索关键词： | 侧保温板 保温板 本实用新型 保温腔室 侧加热器 顶加热器 多晶硅锭 内腔结构 坩埚本体 楔形槽 铸锭炉 坩埚 热辐射反射板 多晶硅生产 独立设置 滑动配合 匹配设置 热利用率 升降组件 相对密封 保温条 多晶硅 耐磨层 石墨粉 碳纤维 外侧边 侧壁 壳体 内壁 热场 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅锭铸锭炉内腔结构，其特征在于，包括：
壳体；
保温腔室，所述保温腔室包括侧保温板和顶保温板，所述侧保温板和顶保温板上均独立设置有升降组件，且侧保温板与顶保温板之间相对密封滑动配合；
侧加热器和顶加热器，所述侧加热器和顶加热器分别对应设置在侧保温板和顶保温板内侧；
以及坩埚，所述坩埚包括坩埚本体、开设在坩埚本体侧壁上的楔形槽、和匹配设置在楔形槽内的碳纤维保温条；
所述侧加热器和顶加热器外侧均设置有热辐射反射板，在侧保温板内壁和顶保温板的外侧边均设置有耐磨层。
2.根据权利要求1所述的多晶硅锭铸锭炉内腔结构，其特征在于，所述耐磨层为石墨纸，所述石墨纸经高碳磷片处理，并经高温膨胀压制而成。3.根据权利要求1所述的多晶硅锭铸锭炉内腔结构，其特征在于，所述侧加热器呈S型设置，相邻两侧加热器之间通过直角板连接，所述顶加热器呈曲线盘设。4.根据权利要求1所述的多晶硅锭铸锭炉内腔结构，其特征在于，顶保温板上设置有导气管，与所述顶加热器对应的热辐射反射板上设置有通气孔。
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