[实用新型]MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置

摘要

本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其涉及一种MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置，本实用新型的MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置，无需人工进行清理，高效方便。无需开起腔体就能对进出料腔进行吸尘，节省时间，不会引起扬尘导致生产环境的污染，减少对人体的危害。可定时清理进出料腔体内部环境，减少粉尘对硅片表面的污染，改善良率。

主权项

1.一种MAIA背镀机台进出料腔(1)自动清理装置，其特征在于：包括吸尘管道(4)以及设置在料腔(1)内的上吸盘(2)和下吸盘(3)，上吸盘(2)的吸尘口朝向料腔(1)内的上表面，下吸盘(3)的吸尘口朝向料腔(1)内的下表面，上吸盘(2)和下吸盘(3)的背面固定连接且均和吸尘管道(4)的一端相连通，吸尘管道(4)的另一端连接有吸尘装置(5)，料腔(1)上设置有能够穿过吸尘管道(4)的安装孔。