[实用新型]一种半导体制造用共晶机有效
申请号: | 201721406010.0 | 申请日: | 2017-10-29 |
公开(公告)号: | CN207441661U | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 汪文坚;王倩;刘少丽;杨雅婷;陈业 | 申请(专利权)人: | 江苏纳沛斯半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/603 | 分类号: | H01L21/603;H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 223001 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体制造用共晶机,包括机体,所述机体的一端设置有装置室,所述机体的上方设置有共晶台,所述共晶台的上方设置有共晶枪,所述共晶枪的一端设置有照明灯,所述照明灯的一端设置有显示屏,所述显示屏的一端设置有警报灯,所述显示屏的底端设置有控制台,所述控制台的底端设置有抽屉,所述共晶台的中间位置设置有顶针,所述顶针的一端设置有夹板;通过在共晶机的顶针上设置有缓冲装置,可以使得在半导体被顶出时,可以减少顶针的缓冲力,使得顶针对半导体的外表面损伤减小,增加了产品的成品率,通过在共晶台上设置有夹板,夹板卡槽的配合,可以使得半导体在共晶台上更加的稳定,使得共晶的误差减少。 | ||
搜索关键词: | 共晶 一端设置 顶针 显示屏 半导体 半导体制造 控制台 夹板 照明灯 底端 本实用新型 缓冲装置 误差减少 成品率 缓冲力 夹板卡 警报灯 装置室 顶出 减小 抽屉 损伤 配合 | ||
【主权项】:
1.一种半导体制造用共晶机,包括机体(1),其特征在于:所述机体(1)的一端设置有装置室(9),所述机体(1)的上方设置有共晶台(2),所述共晶台(2)的上方设置有共晶枪(3),所述共晶枪(3)的一端设置有照明灯(4),所述照明灯(4)的一端设置有显示屏(6),所述显示屏(6)的一端设置有警报灯(5),所述显示屏(6)的底端设置有控制台(7),所述控制台(7)的底端设置有抽屉(8),所述共晶台(2)的中间位置设置有顶针(14),所述顶针(14)的一端设置有夹板(10),所述夹板(10)的一端设置有调节杆(12),所述调节杆(12)的外表面设置有弹簧(13),所述调节杆(12)的一端设置有调节螺母(11),所述顶针(14)的顶端设置有第一缓冲器(15),所述第一缓冲器(15)的底端设置有缓冲支杆(16),所述缓冲支杆(16)的底端设置有第二缓冲器(17),所述第二缓冲器(17)的外表面设置有顶针外壳(18),所述顶针(14)的底端设置有顶针底座(19)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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