[实用新型]一种金刚石薄膜深海温度传感器有效
| 申请号： | 201721322903.7 | 申请日： | 2017-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN207502079U | 公开（公告）日： | 2018-06-15 |
| 发明（设计）人： | 郭风祥;盖志刚;张涛;张妹;邱慧敏;李恒;李正军 | 申请（专利权）人： | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 |
| 主分类号： | G01K13/02 | 分类号： | G01K13/02 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 刘娜;李新欣 |
| 地址： | 266071 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种金刚石薄膜深海温度传感器，包括一端密封的筒状金属耐压外壳，所述金属耐压外壳内纵向设有片状金刚石基底，所述金刚石基底一侧设有温度响应元件，所述温度响应元件为双螺旋线状结构，所述温度响应元件两端设有与外部信号采集电路连接的引线，所述温度响应元件和引线表面覆盖有陶瓷或类金刚石绝缘层，所述陶瓷或类金刚石绝缘层与金属耐压外壳接触；所述温度响应元件为硼掺杂金刚石薄膜材料，同时公开了该温度传感器的制备方法，本实用新型所公开的深海温度传感器响应速度快、结构稳定、不受外界海水压力的影响。 1 | ||
| 搜索关键词： | 温度响应元件 温度传感器 耐压外壳 深海 绝缘层 本实用新型 金刚石薄膜 类金刚石 基底 陶瓷 硼掺杂金刚石薄膜 信号采集电路 金属 片状金刚石 金刚石 结构稳定 双螺旋线 筒状金属 外界海水 一端密封 引线表面 制备 外部 响应 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种金刚石薄膜深海温度传感器，其特征在于，包括一端密封的筒状金属耐压外壳，所述金属耐压外壳内纵向设有片状金刚石基底，所述金刚石基底一侧设有温度响应元件，所述温度响应元件为双螺旋线状结构，所述温度响应元件两端设有与外部信号采集电路连接的引线，所述温度响应元件和引线表面覆盖有陶瓷或类金刚石绝缘层，所述陶瓷或类金刚石绝缘层与金属耐压外壳接触；所述温度响应元件为硼掺杂金刚石薄膜材料。2.根据权利要求1所述的一种金刚石薄膜深海温度传感器，其特征在于，所述金刚石基底的厚度为毫米级别。3.根据权利要求1所述的一种金刚石薄膜深海温度传感器，其特征在于，所述温度响应元件薄膜中硼的掺杂浓度范围为0～5at.％。4.根据权利要求1所述的一种金刚石薄膜深海温度传感器，其特征在于，所述金刚石基底为金刚石薄膜晶粒尺寸为100纳米～100微米的多晶及2～5nm的超细纳米晶金刚石薄膜。5.根据权利要求1所述的一种金刚石薄膜深海温度传感器，其特征在于，所述金刚石基底的两侧边与金属耐压外壳的内壁固定连接。
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