[实用新型]非对称式太赫兹波探测器

摘要

本实用新型公开了一种非对称式太赫兹波探测器，包括基底层；基底层上设有氮化镓层；氮化镓层上设有源电极、漏电极、氮化铝镓层；氮化镓层与氮化铝镓层之间设有硫化镓层；氮化铝镓层上设有1号天线、2号天线、3号天线、栅极；1号天线、2号天线、3号天线呈品字形分布；1号天线包括天线主轴、天线左翼、天线右翼；天线主轴为长方体型；天线左翼包括复数个长方体片；2号天线为长方体结构；2号天线靠近栅极的侧面设有凹槽；3号天线为梯形体结构；梯形体上表面设有凹槽。本实用新型可以收集不同方向的电磁波，实现了多向、准确检测。

主权项

一种非对称式太赫兹波探测器，包括基底层；所述基底层上设有氮化镓层；所述氮化镓层上设有源电极、漏电极、氮化铝镓层；所述氮化镓层与氮化铝镓层之间设有硫化镓层；所述氮化铝镓层位于源电极、漏电极之间；所述氮化铝镓层上设有1号天线、2号天线、3号天线、栅极；所述1号天线、2号天线、3号天线呈品字形分布；所述1号天线包括天线主轴、天线左翼、天线右翼；所述天线主轴为长方体型；所述天线左翼包括复数个长方体片；所述天线右翼包括复数个长方体片；所述天线左翼的复数个长方体片长度互不相同；所述天线右翼的复数个长方体片长度互不相同；所述2号天线为长方体结构；所述2号天线靠近栅极的侧面设有凹槽；所述3号天线为梯形体结构；所述梯形体上表面设有凹槽。