[实用新型]一种面壁材料3D微区燃料滞留无损定量分析设备

摘要

本实用新型公开了一种面壁材料3D微区燃料滞留无损定量分析设备。通过使用本设备，并结合相应的软件及算法，可实现激光诱导解吸附技术结合热脱附质谱技术，对面壁材料燃料滞留高空间分辨(μm量级)、高深度分辨(nm到mm量级)、无损的定量分析。其检出限低、探测灵敏度高、样品无需预处理，可快速(s量级)分析被测样品。此外，通过使用分压校准法，可以将该方法用于定量分析其他气体分子和有机分子。

主权项

1.一种面壁材料3D微区燃料滞留无损定量分析设备，其特征在于，样品加热模块(C15)通过热传导的方式加热被测样品(C14)；计算机(C1)通过PXIExpress端口连接FPGA时序模块(C2)、通过USB、串口与四级质谱仪(C16)连接、通过网口与ICCD相机(C18)连接；FPGA时序模块(C2)通过BNC接口连接ICCD相机(C18)及解吸附激光器(C4)；发出的激光经过与激光传播方向成90°放置的激光扩束仪(C5)、再经过与激光传播方向成90°放置的激光能量调控系统(C6)；通过激光能量调控系统(C6)的激光被分为两束，第一束激光被反射到与激光入射方向成90°的残余激光吸收器(C7)里，另一束激光沿着原有方向继续向前传播，经过与入射激光成一定角度的石英片(C8)后，被反射的一小部分激光照射到焦耳计(C9)上、散射光照射到光电二极管(C10)上；石英片(C8)放置的角度根据焦耳计(C9)的位置确定；斩波器(C11)放置在与入射激光成90°的光路中；经由斩波器(C11)出射的激光被与激光入射方向成45°放置的激光高反射镜(C12)反射；被反射的激光被与激光入射方向成45°放置的抛物面反射镜(C13)聚焦到被放置在抛物面反射镜(C13)焦点处的被测样品(C14)上；被解析的气体被四级质谱仪(C16)探测，经由串口及USB口将数据传输到计算机(C1)中；ICCD相机(C18)放置的角度与样品法线方向平行；通过调节ICCD相机(C18)的镜头焦距对激光与样品相互作用的区域进行拍摄；ICCD相机(C18)通过网口将数据传输到计算机(C1)。